Продукция боюнча сунуш | Үч толкун узундугундагы ахроматикалык F-тета линзасы
Стандарттуу лазердик сканерлөөчү линзалар, адатта, бир толкун узундугуна ылайыкташтырылган — башка лазерге өтүү фокустун жылышына, бүдөмүк тактарга жана бүдөмүк белгилерге алып келет. Эки тилкелүү сканерлөөчү линзалар эки толкун узундугунун ортосундагы хроматикалык аберрацияны гана оңдой алат.
3 толкун узундугундагы ахроматикалык сканерлөөчү линза – бул үч башка лазердик толкун узундугу үчүн хроматикалык аберрацияны бир эле учурда жок кылуучу атайын сканерлөөчү фокустоочу линза. Үч толкун узундугунун баары бирдей оптикалык топтомго ээ; процесстердин ортосунда которулуу үчүн жөн гана лазер булагын алмаштыруу керек, линзаны бөлүп алуунун же кайра фокустоонун кажети жок. Бул аны көп процесстүү композиттик иштетүү системалары үчүн идеалдуу кылат.
Өнөр жайда эң кеңири таралган толкун узундугунун айкалышы: 355 нм (УФ), 532 нм (жашыл) жана 1064 нм (ИК).
Негизги оптикалык аткаруунун артыкчылыктары
1. Парфокалдык үч толкун узундугундагы тегиздөө, тактардын сапатын ырааттуу түрдө камсыз кылуу
355/532/1064 нм үчүн бир эле учурда хроматикалык аберрацияны оңдоо (же RGB, UV-VIS-SWIR тилкесинин айкалыштары үчүн). Үч толкун узундугунун тең фокустук тегиздиктери дал келет, бул октук дефокустоо же четки хроматикалык бурмалоосуз сканерлөө талаасынын бардык жеринде тактардын бирдей тегеректигин камсыз кылат.
2. Минималдуу позициялоо катасы менен курама иштетүү үчүн жогорку тактык
Хроматикалык аберрациядан тышкары, талаанын ийрилиги, бурмалоо, сфералык аберрация жана кома да оптималдаштырылган. Жогорку сызыктуу f-тета сканерлөө тактыгы жумушчу бөлүктүн белгилүү бир талаптарына негизделген толкун агымын тандоого мүмкүндүк берет. Тетиктерди көп толкун узундугундагы композиттик иштетүү жалпы иштетүү тактыгын бир топ жакшыртат.
3. Төмөнкү талаа ийрилиги жана толук талаадагы тактардын бирдейлиги
Колдонмо сценарийлери
Фоторезист сыяктуу органикалык материалдарды алып салуу үчүн 343 нм; пассивдөөчү катмарлардан металлды же полисиликонду алып салуу үчүн 515 нм; жана пассивдөөчү катмарлардан ITOну алып салуу үчүн 1030 нм. Панелдик дисплейлерди оңдоо жана текшерүү үчүн идеалдуу.
Продукциянын параметрлери：
| Толкун узундугу | 1030нм жана 515нм жана 343нм |
| Киргизүү нурунун диаметри | 10 мм |
| Натыйжалуу фокустук аралык (EFL) | 250 мм |
| Фокус чекитинин өлчөмү | 46.94–46.97μm @ 1030nm23.62–23.76μm @ 515nm15.69–16.37μm @ 343nm |
| Сканерлөө талаасы | 17×17 мм |
| Иштөө аралыгы (WD) | 224,5 мм |
| Линзанын жалпы узундугу | 46 мм |
| Линзанын сырткы диаметри | Φ82 мм |
| Талаа ийрилиги | <0.1 мм |
| Бурмалоо | <0,1% |
Ыңгайлаштырылган дизайн чыныгы талаптарга ылайык жеткиликтүү.
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 8-июлу