Продукциянын өзгөчөлүктөрү: Жарым өткөргүч пластинаны күйгүзүү үчүн лазердик жылытуу

Пластинаны күйгүзүү жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү маанилүү процесс болуп саналат, ал кошулмаларды активдештирүүнү, торчолорду калыбына келтирүүнү жана өтө тайыз туташууну (УТЖ) пайда кылууну камтыйт. Кадимки меште күйгүзүү жана тез термикалык иштетүү (ТТЖ) жогорку жылуулук бюджеттеринен, кошулмалардын диффузиясынын начар көзөмөлдөнүшүнөн жана бирдейликтин жетишсиздигинен жабыркайт, бул аларды 7 нм, 5 нм жана андан жогорку өнүккөн технологиялык түйүндөр үчүн, айрыкча Gate-All-Around (GAA) архитектуралары жана 3D NAND флеш-эс тутуму үчүн жетишсиз кылат. Лазердик негиздеги пластинаны күйгүзүү, өткөөл жогорку энергиялуу нурлануусу, микрон масштабындагы мейкиндик тактыгы жана минималдуу жылуулук диффузиясы менен, бул талаптуу өндүрүш талаптарын канааттандыруу үчүн кийинки муундагы негизги процесс катары пайда болду.

Лазердик жылытуунун негизги принциби

Wave Optics лазердик жылытуу башы пластина беттерин так нурландыруу үчүн жогорку энергиялуу, жылуулук боюнча бирдей лазер нурларын берүүчү патенттелген оптикалык дизайнга ээ. Жашыл лазер кремний негизиндеги материалдар (SiC кошо алганда) менен эң сонун сиңирүү дал келүүсүн камсыз кылат, бул пластинага зыян келтирбестен жогорку натыйжалуу жылуулук иштетүүнү камсыз кылат. Бул ион менен имплантацияланган бузулган катмардын кайра кристаллдашуусун жана натыйжалуу кошулмаларды активдештирүүнү жеңилдетет. Андан кийин, субстраттын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү торчо түзүлүшүн тоңдуруп, кошулмалардын диффузиясын басуучу өтө тез муздатууну камсыз кылат. Бул процесс жогорку активдештирүү натыйжалуулугу жана тик (кескин) кошулма профили менен өтө тайыз туташууларды ийгиликтүү пайда кылат.

Лазердик жылытуу менен күйгүзүү пластина иштетүүнүн түшүмдүүлүгүн жогорулатуу үчүн абдан маанилүү

1. Нурдун бирдейлиги: Жалпак үстү бар нур тактарынын энергия бирдейлиги 95% дан ашат (типтүү), бул жергиликтүү ашыкча эрүүнү же жетишсиз күйгүзүүнү жокко чыгарат.
2. Энергиянын туруктуулугу: Чыгуучу энергиянын үзгүлтүксүз өзгөрүшү 2% дан төмөн, бул пластиналардын ортосундагы жана партиядан партияга чейинки эң сонун ырааттуулукту камсыз кылат.
3. Беттик фигуранын тактыгы: Оптикалык компоненттер нанометрдик масштабдагы PV/RMS маанилерине ээ, алар толкун фронтунун бурмаланышын жакшы көзөмөлдөйт, бул ысык чекиттердин бузулушунун алдын алат.
4. Фокустун тереңдиги жана нурдун формасы: Фокустун ыңгайлаштырылуучу тереңдиги нур интеграторунун гомогендештирүүсү менен айкалышып, чоң диаметрдеги пластиналарды толук талаада сканерлөөнү колдойт.
5. Толкун узундугун дал келтирүү: Энергияны пайдалануу натыйжалуулугун максималдуу түрдө жогорулатуу үчүн кремнийдин жана үчүнчү муундагы жарым өткөргүчтөрдүн (мисалы, SiC, GaN) жогорку сиңирүү толкун тилкелери үчүн оптималдаштырылган.

Кадимки күйдүрүүгө караганда үч негизги артыкчылык

1. Кошулмалардын диффузиясын эң сонун басуу - Жылуулук таасири наносекунддан миллисекундга чейинки диапазон менен чектелет, ал нөлгө жакын кошулмалардын диффузиясына ээ, бул мүмкүнчүлүк меште күйгүзүү же RTP аркылуу жетишүүгө мүмкүн эмес.

2. Төмөн жылуулук бюджети жана түзмөктүн минималдуу бузулушу - Пластинанын бети гана убактылуу жогорку температурага дуушар болот, натыйжада негиздин же түзмөктүн конструкцияларынын жылуулук деформациясы болбойт жана беттик деградация болбойт.

3. Тактык менен тандалма аймакты күйгүзүү - Жөндөлүүчү микрон масштабындагы нур тактары 3D интеграциясы жана гетерогендик интеграцияланган түзмөктөр үчүн локалдаштырылган күйгүзүүнү колдойт.

Колдонмо сценарийлери

Колдонмолорго булак/дренажды активдештирүү, каналдарды оңдоо жана өркүндөтүлгөн логика (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, SiC/GaN кубат түзмөктөрү, SOI жана микро/нано түзмөктөр үчүн омдук контакттык күйгүзүү кирет. Лазердик күйгүзүү бир эле учурда түзмөктүн өндүрүмдүүлүгүн жана иштешин жакшыртат.

Лазердик күйгүзүү пластина иштетүүнү глобалдык (жабык) күйгүзүүдөн так жергиликтүү күйгүзүүгө которот. Анын күчтүү оптикалык технологиясы өнүккөн жарым өткөргүч түйүндөрүнүн масштабын жана өндүрүмдүүлүгүндөгү жетишкендиктерди улантууну колдойт.

Продукциянын мүнөздөмөлөрүнүн баракчасы